1단계
가스를 증착 챔버로
유입 및 기판 표면에
흡착 및 확산
2단계
열, 압력, 플라즈마 등을
통한 활성화
에너지 공급
3단계
활성화 에너지에 의한
가스 분해 후
박막 증착
씨에이티빔텍은 탄소나노튜브의 성장을 위한 화학기상증착법을 다년간 수행하여 독자적인 설계를 통한 고품질 탄소나노튜브 제조용 화학기상증착 장비를 설계 및 생산하고 있습니다.
수요처의 니즈에 따라 맞춤형 화학기상증착 시스템을 설계, 개발하여 장비의 제작 솔루션을 수요처에 제공하는 서비스를 수행하고 있습니다.